技術(shù)編號:11249791
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光電子技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種環(huán)形反射式波導(dǎo)光柵濾波器及其制作方法。背景技術(shù)隨著互聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展,光子集成技術(shù)是光電子領(lǐng)域的發(fā)展趨勢,光子集成技術(shù)是將多個分立的光電芯片集成在單個芯片上,環(huán)形器是光子集成芯片中常用的器件,但是因為材料、結(jié)構(gòu)等方面的原因,現(xiàn)有技術(shù)不能單片集成環(huán)形器,這導(dǎo)致了在傳統(tǒng)分立器件中,某些功能性元件不能有效集成在一起,限制了光子集成芯片的使用。比如,光纖光柵在光通訊中是一個常用的器件,其廣泛用于色散補(bǔ)償、分插復(fù)用以及光信號處理等功能。但是因為器件一般基于光纖光柵的反射光響...
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