技術(shù)編號(hào)：11263342
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及精密驅(qū)動(dòng)領(lǐng)域，特別涉及一種基于壓電驅(qū)動(dòng)的串并混連式三自由度精密驅(qū)動(dòng)平臺(tái)。可應(yīng)用于精密與超精密加工、顯微操作、微機(jī)電系統(tǒng)等科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)壓電驅(qū)動(dòng)技術(shù)作為一種新型的驅(qū)動(dòng)方式，以其定位精度高、輸出力大、響應(yīng)迅速、無(wú)磁場(chǎng)干擾、效率高等優(yōu)點(diǎn)逐漸被應(yīng)用于眾多精密驅(qū)動(dòng)平臺(tái)中，尤其受到微小機(jī)器人、顯微操作、精密與超精密加工等領(lǐng)域的關(guān)注。目前存在的壓電驅(qū)動(dòng)平臺(tái)多為單自由度或者二自由度，并且在結(jié)構(gòu)尺寸微小型化方向上仍有較大發(fā)展空間。驅(qū)動(dòng)平臺(tái)存在自由度少、結(jié)構(gòu)尺寸過(guò)大、工作可靠性差、定位精度不足等問(wèn)...
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