技術(shù)編號(hào):11267650
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本公開至少一實(shí)施例涉及一種涂布機(jī)、涂布系統(tǒng)及涂布機(jī)清潔方法。背景技術(shù)在TFT-LCD、AM-OLED等平板顯示技術(shù)領(lǐng)域中,通常使用光刻工藝來形成各種電路圖案等,在光刻工藝中,光刻膠的涂布是一項(xiàng)重要的制程,涂布機(jī)的稼動(dòng)率是影響整個(gè)工廠產(chǎn)能的一項(xiàng)重要因素。對(duì)于目前成熟穩(wěn)定的設(shè)備而言,設(shè)備本身的穩(wěn)定性造成的停機(jī)所產(chǎn)生的非稼動(dòng),并非影響稼動(dòng)率最主要的一項(xiàng)因素。相比之下,可能出現(xiàn)的機(jī)臺(tái)工作面臟污造成的不良所導(dǎo)致的人為停機(jī)占比越來越高。機(jī)臺(tái)工作面臟污對(duì)涂布過程會(huì)造成影響,進(jìn)而造成涂布Mura等缺陷,在出現(xiàn)例...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。