技術(shù)編號：11272505
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于顯示裝置生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，是涉及一種真空吸附結(jié)構(gòu)及采用該真空吸附結(jié)構(gòu)的機械手裝置。背景技術(shù)顯示裝置中的基板在光阻涂布后需要進入軟烤機進行烘烤。機械手臂的墊板在搬送基板進入爐內(nèi)的過程中，會因為爐內(nèi)的熱量傳遞而升溫，此時機械手臂的墊板是有溫度的。當(dāng)機械手臂返回去搬送另外一片剛涂布后的基板時，墊板的溫度會傳遞給玻璃基板，接觸的位置會因為溫差的作用而膜厚不均并在使用過程中產(chǎn)生亮度不均勻和出現(xiàn)斑點的現(xiàn)象。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種真空吸附結(jié)構(gòu)，旨在解決機械手臂在搬運涂布好的玻璃...
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