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技術(shù)編號：11284033

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本發(fā)明涉及包含石墨基材和覆蓋該石墨基材的SiC被覆物的SiC被覆碳復(fù)合材料及其制造方法。背景技術(shù)對于半導(dǎo)體制造裝置用部件、加熱爐用部件等在高溫下使用的結(jié)構(gòu)材料來說，要求具有耐熱性、化學(xué)穩(wěn)定性、強(qiáng)度等。作為這樣的材料，廣泛使用了石墨。石墨雖然耐熱性、化學(xué)穩(wěn)定性、強(qiáng)度優(yōu)異，但難于抵抗與氧的反應(yīng)、容易發(fā)生氧化消耗；軟、容易磨耗；在高溫下與氫、氨等具有反應(yīng)性；等等，并不是萬能的材料。為了彌補(bǔ)這種石墨的缺點，正在廣泛使用在石墨的表面形成有SiC等陶瓷被覆物的陶瓷復(fù)合材料。在這種陶瓷復(fù)合材料中，石墨與陶瓷被...
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