技術(shù)編號(hào)：11284607
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于檢測(cè)磁力的半導(dǎo)體裝置及其制造方法。更具體涉及通過具備多個(gè)霍爾元件和用于會(huì)聚通過該半導(dǎo)體裝置附近的磁通的磁性體、能夠高靈敏度地檢測(cè)2維或3維方向的磁力的半導(dǎo)體裝置及其制造方法。背景技術(shù)用于通過霍爾效應(yīng)來(lái)檢測(cè)磁力的半導(dǎo)體裝置很早就為人所知，進(jìn)而，為了提高其靈敏度、性能，或者檢測(cè)來(lái)自2維或3維方向的磁力，提出了將霍爾元件和磁性體組合的半導(dǎo)體裝置。例如，利用專利文獻(xiàn)1中記載的霍爾效應(yīng)的磁場(chǎng)方向傳感器，配置有多個(gè)霍爾元件和在這些霍爾元件區(qū)域上部具有平坦的形狀的由軟磁性體材料構(gòu)成的磁會(huì)聚板。在...
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