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用于嵌段共聚物的取向控制的氟-醇添加劑背景本發(fā)明涉及用于定向自組裝用途中所用的嵌段共聚物的取向控制的氟-醇添加劑，更具體涉及用于含聚碳酸酯嵌段的高chi(χ)嵌段共聚物的頂部取向控制的材料。嵌段共聚物(BCPs)在溶液、本體和薄膜中用于許多用途。BCPs的薄膜用途由于一些BCPs形成形態(tài)部尺寸為5納米至50納米的周期性自組裝結(jié)構(gòu)的能力而對(duì)納米光刻和圖案化特別有吸引力。BCPs的薄膜自組裝性質(zhì)可以與現(xiàn)有光刻技術(shù)一起使用以提供用于半導(dǎo)體用途的獲得長(zhǎng)程有序的獨(dú)特途徑。被稱作嵌段共聚物的定向自組裝(DS...
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