技術(shù)編號(hào)：11286797
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。具有極小死角的改進(jìn)閥塊相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用本申請(qǐng)要求2014年11月15日提交的美國(guó)臨時(shí)申請(qǐng)?zhí)?2/080,281的優(yōu)先權(quán)，其以引用方式并入本文，就像其被全文給出了一樣。背景技術(shù)電子設(shè)備制造業(yè)需要各種液體化學(xué)品作為原材料或前體來制造集成電路和其他電子設(shè)備。重要的是在電子設(shè)備制造工藝過程中，使用的各種液體化學(xué)品不混合于一起而是各自保持在高純度下以滿足電子制造業(yè)的嚴(yán)苛要求。在電子設(shè)備制造工藝過程中，這些各種不同液體化學(xué)品經(jīng)由共同的導(dǎo)管和端口(開口)的系統(tǒng)在化學(xué)容器與一個(gè)或多個(gè)含閥歧管之間反復(fù)移動(dòng)。因此...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。