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MS用氮氣安全供給監(jiān)視器和氮氣生成裝置的制造方法技術資料下載

技術編號:11287402

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本發(fā)明涉及MS(MassSpectrometry:質(zhì)譜法)用氮氣安全供給監(jiān)視器和氮氣生成裝置。背景技術以往,例如在日本特開2015-024408號公報中所公開的那樣,公知有具有壓縮機和氣體分離膜的氣體生成裝置。在日本特開2003-159517號公報中,作為氣體分離膜的一個示例記載有中空纖維分離膜模塊。并且,在日本特開2012-232281號公報中,記載了涉及將流體中含有的塵埃等去除的過濾器裝置的技術,尤其是在第0114段中,記載了如下內(nèi)容:經(jīng)過濾器分離后的水分在沿著過濾器的內(nèi)殼體內(nèi)周面向下方移動...
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