技術(shù)編號(hào)：11290214
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本公開涉及一種生成脈沖激光束的固體激光系統(tǒng)和曝光裝置用激光裝置。背景技術(shù)隨著半導(dǎo)體集成電路的微細(xì)化、高集成化，在半導(dǎo)體曝光裝置中，對(duì)分辨力提出了更高的要求(在下文中，將半導(dǎo)體曝光裝置僅稱為“曝光裝置”)。因此，正在推進(jìn)從曝光用光源輸出的光的短波長(zhǎng)化。在曝光用光源中，使用氣體激光裝置來代替以往的水銀燈。現(xiàn)在，作為曝光用的氣體激光裝置，使用輸出波長(zhǎng)為248nm的紫外線的KrF準(zhǔn)分子激光裝置、以及輸出波長(zhǎng)為193.4nm的紫外線的ArF準(zhǔn)分子激光裝置。作為現(xiàn)在的曝光技術(shù)，如下的液浸曝光已被投入實(shí)際使用...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。