技術編號：11290217
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本公開涉及激光裝置。背景技術激光退火裝置是向成膜于基板上的非晶硅膜照射脈沖激光使其改性為多晶硅(ポリシリコン)膜的裝置，其中，該脈沖激光是從準分子激光器等激光系統(tǒng)輸出的，具有紫外線區(qū)域的波長。通過將非晶硅膜改性為多晶硅膜，能夠制作TFT(薄膜晶體管)。該TFT用于比較大型的液晶顯示器中?，F(xiàn)有技術文獻專利文獻專利文獻1：日本特開2009－277977號公報專利文獻2：美國專利第8803027號說明書專利文獻3：日本專利第4818871號公報專利文獻4：日本專利第5376908號公報發(fā)明內(nèi)容本公開的...
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