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一種安全高效LED襯底晶片切割裝置的制造方法技術資料下載

技術編號:11297824

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本實用新型涉及LED襯底晶片加工領域,具體為一種安全高效LED襯底晶片切割裝置。背景技術藍寶石是一種氧化鋁單晶材料,具有非常高的硬度,是目前LED行業(yè)的普遍采用的襯底材料,用作氮化鎵等外延生長的基質以生產藍光等發(fā)光二極管。在LED襯底晶片的生產工藝過程中,我們需要用到許多的設備來對LED襯底晶片進行加工處理,切割機就是其中的一種設備。目前市場上的切割機種類數量已經有了不少,但是現有的切割機大多是敞開式結構,安全性能低,而且,現有的切割機大都是一塊一塊進行切割的,工序麻煩復雜,還降低了效率。實用新...
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