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壓力平衡的熱制程設(shè)備的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11320086

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本實(shí)用新型涉及一種熱制程設(shè)備,特別是涉及一種壓力平衡的熱制程設(shè)備。背景技術(shù)快速熱制程(RapidThermalProcessing,RTP)是指以極快的速度加熱晶圓表面,以達(dá)消除應(yīng)力、退火等目的。為了保持制程的穩(wěn)定性需提供氣密腔體或真空環(huán)境,將晶圓置于其中。氣密腔體的外側(cè)以石英平板作為窗口,讓燈管的燈光穿透石英平板以對(duì)氣密腔體內(nèi)的晶圓加熱。然而,當(dāng)制程需要更高溫度或更低真空時(shí)會(huì)導(dǎo)致石英平板破裂,故石英平板必須隨之增加厚度以承受高真空所導(dǎo)致的內(nèi)外壓力差。實(shí)用新型內(nèi)容因此,為解決上述問(wèn)題,本實(shí)用新型...
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