技術(shù)編號(hào)：11322088
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種激光定域輻照樣品表面動(dòng)態(tài)過(guò)程的電鏡檢測(cè)方法和裝置。背景技術(shù)激光輻照材料表層后，激光能量會(huì)被材料吸收并被轉(zhuǎn)化為熱量。材料表面在能量密度不同的激光束輻照下，發(fā)生的變化類(lèi)型也不盡相同，這些變化包括材料溫度升高、材料熔化和氣化、材料內(nèi)部產(chǎn)生小孔以及產(chǎn)生光致等離子體等。掃描電子顯微鏡是根據(jù)高能電子和物質(zhì)相互作用時(shí)不同信息的產(chǎn)生機(jī)理，采用不同的信息檢測(cè)器采集信息，得到物質(zhì)的微觀形貌特征及物質(zhì)化學(xué)成分信息。電子顯微鏡可配置各種功能不同的探測(cè)器組件，以滿足特殊的應(yīng)用需求。比如...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。