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技術(shù)編號(hào)：11326624

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本發(fā)明涉及一種微機(jī)械MEMS濾波器結(jié)構(gòu)，屬于射頻通信及微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)領(lǐng)域中的元器件技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種由兩個(gè)完全相同的電容式橢圓盤形諧振器耦合的微機(jī)械帶通濾波器。背景技術(shù)MEMS即微機(jī)電系統(tǒng)(MicroelectroMechanicalSystems)的簡(jiǎn)稱,它結(jié)合了機(jī)械與電氣的雙重特性,將微電子技術(shù)和精密機(jī)械加工技術(shù)相互融合,用于開發(fā)具有小型化、智能化的產(chǎn)品,是微電子技術(shù)應(yīng)用的又一次革命。用于射頻通信領(lǐng)域的RF-MEMS微機(jī)械濾波器,是一種采用MEMS技術(shù)制作,基于機(jī)械振動(dòng)的固有...
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該類技術(shù)注重原理思路，無完整電路圖，適合研究學(xué)習(xí)。

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