技術(shù)編號：11342975
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種檢測裝置，特別是涉及一種用于垂直式晶粒的檢測裝置及用于檢測的導(dǎo)電元件。背景技術(shù)晶圓制造過程可概分為晶圓處理制程、針測制程、構(gòu)裝、測試制程等幾個步驟，在經(jīng)過晶圓處理制程后，晶圓上即形成晶粒，而晶粒須通過針測儀器以測試其電氣特性，檢查其是否為不良品，而不合格的晶粒將標(biāo)上記號，并將合格晶粒依其電氣特性分類，再進行下個制程步驟。其中，晶粒結(jié)構(gòu)又分為橫向結(jié)構(gòu)與垂直結(jié)構(gòu)，橫向結(jié)構(gòu)晶粒的兩個電極在晶粒的同一側(cè)，電流在n和p類型限制層中橫向流動不等的距離，而垂直結(jié)構(gòu)的晶粒的兩個電極分別在外延層...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。