技術(shù)編號：11359844
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及研磨拋光技術(shù)領(lǐng)域，更具體的說，尤其涉及一種液動壓懸浮研磨拋光一體裝置。背景技術(shù)超精密加工技術(shù)是一門新興的綜合性加工技術(shù)。它集成了現(xiàn)代機械、光學、電子、計算機、測量及材料等先進技術(shù)成就，已成為國家科學技術(shù)發(fā)展水平的重要標志。為了獲得各種元器件及裝備的高性能，要求元件和零件的加工精度越來越高，有的甚至要求達到納米級或更高的加工精度和無損傷的表面加工質(zhì)量。超精密拋光是目前最主要的終加工手段。拋光過程的材料去除量十分微小，一般在幾微米以下。目前，非接觸式拋光是獲得超光滑表面的主要拋光方法。常見...
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