技術(shù)編號(hào):11383884
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于微慣性導(dǎo)航技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種用于測(cè)量位移的傳感器,特別是涉及一種利用隧道磁阻效應(yīng)測(cè)量位移的傳感器裝置。背景技術(shù)微機(jī)械位移傳感器常用的檢測(cè)方式包括壓阻式、電容式、壓電式和隧道效應(yīng)式等。壓阻式是基于高摻雜硅的壓阻效應(yīng)原理實(shí)現(xiàn)的,高摻雜硅形成的壓敏器件對(duì)溫度有較強(qiáng)的依賴性,其由壓敏器件組成的電橋檢測(cè)電路會(huì)因溫度變化引起靈敏度漂移。電容式精度的提高依賴于電容面積的增大,但由于器件的微小型化,其精度因有效電容面積的縮小而難以提高。壓電效應(yīng)傳感器靈敏度易漂移,需經(jīng)常校正,歸零慢,不宜連續(xù)測(cè)試。隧道...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。