技術(shù)編號：11385022
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種優(yōu)化的石墨部件【技術(shù)領(lǐng)域】本實用新型涉及石墨加工技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種優(yōu)化的石墨部件?！颈尘凹夹g(shù)】近年來國內(nèi)半導(dǎo)體晶圓廠，國家出臺了4000億國家集成電路的產(chǎn)業(yè)大基金來支持國內(nèi)的半導(dǎo)體行業(yè)。離子注入機(jī)是目前半導(dǎo)體晶圓廠內(nèi)的最精密的關(guān)鍵設(shè)備，石墨類的耗材需求量很大，對石墨類的零部件不但要求高純度無污染，還要求同一套石墨保護(hù)組件能最大限度提升使用壽面，延長機(jī)臺倆次保養(yǎng)的間隔時段，這樣石墨表面噴砂就有了應(yīng)用市場，現(xiàn)有的石墨零部件常規(guī)設(shè)計方式，更換周期較短，中央?yún)^(qū)域被沖擊損耗的很快，為此，我們提出一...
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