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一種MEMS陀螺儀閉環(huán)驅(qū)動用自動增益控制電路的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:11385648

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本發(fā)明涉及一種MEMS陀螺儀閉環(huán)驅(qū)動用自動增益控制電路。背景技術(shù)隨著微機(jī)械加工工藝的發(fā)展,MEMS硅微機(jī)械陀螺儀在工業(yè)自動化、慣性導(dǎo)航和汽車電子等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。MEMS陀螺儀是基于科氏力原理工作的,根據(jù)科氏力公式可知驅(qū)動振蕩速率直接影響陀螺的刻度因子和穩(wěn)定性。因此保持陀螺驅(qū)動模態(tài)的穩(wěn)定是提高陀螺精度的關(guān)鍵所在。MEMS陀螺驅(qū)動系統(tǒng)根據(jù)驅(qū)動方式的不同可以分為:開環(huán)驅(qū)動和閉環(huán)驅(qū)動。開環(huán)驅(qū)動容易受外界環(huán)境的影響,因此只能應(yīng)用在低精度領(lǐng)域。閉環(huán)驅(qū)動具有很強(qiáng)的魯棒性,能夠抑制外界干擾對驅(qū)動系統(tǒng)的影...
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