技術(shù)編號:11400346
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種鉭酸鋰晶片還原裝置,尤其涉及一種鎂蒸氣還原鉭酸鋰晶片的裝置。背景技術(shù)現(xiàn)有技術(shù)中通常是利用直拉法生產(chǎn)鉭酸鋰(LT)晶體,即:使得LT晶體在空氣中或在缺氧狀態(tài)下生長,晶體通常成無色或者淡黃色,其電阻率通常在1×1014Ω·cm~1×1015Ω·cm,由于在制作濾波器的過程中需要對鉭酸鋰晶片進(jìn)行加熱,因鉭酸鋰晶片較強(qiáng)的熱電性,從而引起電荷在晶片表面的聚集而產(chǎn)生火花,引起表面圖形的變化,更進(jìn)一步會引起表面的微裂紋,導(dǎo)致成品率的降低。另外,由于這種LT晶體高的光透過率,在光刻過程中,由于...
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