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表面構造測量裝置的制造方法技術資料下載

技術編號:11404633

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表面構造測量裝置相關申請引用本申請根據(jù)35U.S.C.§119的規(guī)定要求于2016年2月25日提交的日本專利申請2016-034436的優(yōu)先權,該專利申請的公開內(nèi)容通過完整引用結合在此。技術領域本發(fā)明涉及一種使用非接觸型測量傳感器測量可測物體的內(nèi)壁的表面構造的表面構造測量裝置。背景技術通常使用表面構造測量裝置測量可測物體的表面構造。例如,日本公開專利2006-064512中公開的一種表面構造測量裝置檢測可測物體表面上的凹凸的位置變化,以測量可測物體的內(nèi)徑和外徑。近年來,一直有對可測物體的內(nèi)壁的詳...
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