技術(shù)編號(hào)：11409788
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及太陽能電池板制造技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種石英舟清洗飽和工藝。背景技術(shù)太陽能電池板擴(kuò)散用石英舟在使用一段時(shí)間后會(huì)變臟，容易造成電池板卡槽印、崩邊等不良，因此需要對石英舟進(jìn)行定期清洗。新清洗的石英舟在使用前需進(jìn)行飽和處理，目的是保證正常生產(chǎn)時(shí)，不會(huì)造成硅片外觀和方阻異常。之前石英舟清洗飽和工藝流程存在以下問題，飽和時(shí)間長，影響產(chǎn)能；清洗飽和過的石英舟外觀效果差，舟尾清洗不干凈；POCL3、O2、N2用量較多；故需要對石英舟清洗飽和流程進(jìn)行優(yōu)化，來改善清洗效果、降低運(yùn)營成本及提升產(chǎn)能。發(fā)明內(nèi)容本...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。