技術(shù)編號：11409869
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。所公開的發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體裝置及其制造方法。注意，在本說明書等中，半導(dǎo)體裝置是指能夠通過利用半導(dǎo)體特性而工作的所有裝置，因此電光裝置、發(fā)光顯示裝置、半導(dǎo)體電路及電子設(shè)備都是半導(dǎo)體裝置。背景技術(shù)通過利用形成在具有絕緣表面的襯底上的半導(dǎo)體薄膜來構(gòu)成晶體管(也稱為薄膜晶體管(TFT))的技術(shù)受到關(guān)注。該晶體管被廣泛地應(yīng)用于如集成電路(IC)及圖像顯示裝置(顯示裝置)等的電子設(shè)備。作為可以應(yīng)用于晶體管的半導(dǎo)體薄膜，硅類半導(dǎo)體材料是眾所周知的。作為其他材料，氧化物半導(dǎo)體受到關(guān)注。例如，公開了作為晶體管的活...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。