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一種高壓整流管芯片的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11422634

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本實(shí)用新型屬于功率半導(dǎo)體器件技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種高壓整流管芯片。背景技術(shù)當(dāng)前功率半導(dǎo)體器件正在向著大電流、高電壓、高功率轉(zhuǎn)化率的方向發(fā)展,且對(duì)產(chǎn)品參數(shù)的一致性有更高的要求。傳統(tǒng)的整流管芯片采用焊接方式,將硅晶片通過鋁箔燒結(jié)焊在鉬片上,但隨著整流管芯片直徑越來越大、電壓越來越高,焊接質(zhì)量難以保證,產(chǎn)品可靠性無法保證;限制產(chǎn)品向大直徑、高電壓發(fā)展。功率半導(dǎo)體器件的主要工藝在于PN結(jié)的制作,對(duì)大功率高耐壓的器件,一般選用在N型硅襯底上進(jìn)行鋁鎵或鋁硼兩種雜質(zhì)不同濃度梯度摻雜的方式形成PN結(jié)。對(duì)于整流管...
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