技術(shù)編號(hào):11449725
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。使用圖案形成裝置形貌引入的相位的方法和設(shè)備相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用本申請(qǐng)主張于2014年12月17日提交的美國(guó)申請(qǐng)62/093,358的優(yōu)先權(quán),其通過(guò)援引而全文合并到本文中。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及使用圖案形成裝置引入的相位的方法和設(shè)備,該方法和設(shè)備例如用在圖案形成裝置的圖案以及圖案形成裝置的一個(gè)或更多個(gè)照明性質(zhì)的優(yōu)化中、用在圖案形成裝置上的一個(gè)或更多個(gè)結(jié)構(gòu)層的設(shè)計(jì)中和/或計(jì)算光刻術(shù)中。背景技術(shù)光刻設(shè)備是一種將所需圖案應(yīng)用到襯底上,通常是襯底的目標(biāo)部分上的機(jī)器。例如,可以將光刻設(shè)備用在集成電路(IC)的制造...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
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