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使用圖案形成裝置形貌引入的相位的方法和設(shè)備與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11449725

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使用圖案形成裝置形貌引入的相位的方法和設(shè)備相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用本申請(qǐng)主張于2014年12月17日提交的美國(guó)申請(qǐng)62/093,358的優(yōu)先權(quán),其通過(guò)援引而全文合并到本文中。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及使用圖案形成裝置引入的相位的方法和設(shè)備,該方法和設(shè)備例如用在圖案形成裝置的圖案以及圖案形成裝置的一個(gè)或更多個(gè)照明性質(zhì)的優(yōu)化中、用在圖案形成裝置上的一個(gè)或更多個(gè)結(jié)構(gòu)層的設(shè)計(jì)中和/或計(jì)算光刻術(shù)中。背景技術(shù)光刻設(shè)備是一種將所需圖案應(yīng)用到襯底上,通常是襯底的目標(biāo)部分上的機(jī)器。例如,可以將光刻設(shè)備用在集成電路(IC)的制造...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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