技術(shù)編號：11452417
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于檢查樣本的表面的組件。背景技術(shù)集成電路的生產(chǎn)過程中的常規(guī)步驟之一是檢查經(jīng)圖案化的表面，尤其是在開始新設(shè)計時。將整個300mm晶片的主要部分成像，以檢查圖案中的缺陷并檢查嵌入在圖案中的或晶片頂部上的顆粒。這種檢查目前通過高通量光學(xué)顯微鏡在專用儀器中執(zhí)行。隨著光刻的進步，儀器必須檢測越來越小的缺陷和顆粒。問題是，當(dāng)粒子的尺寸減小時，來自粒子的光散射迅速地減少，因此信號-背景(和噪聲)比降低。為了解決這個問題，已經(jīng)使用了電子束檢查機，并且出于某些目的電子束檢查機仍在使用中。電子束檢查機可...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。