技術(shù)編號(hào):11452480
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種制造半導(dǎo)體襯底的方法、半導(dǎo)體襯底、制造組合半導(dǎo)體襯底的方法、組合半導(dǎo)體襯底和半導(dǎo)體結(jié)合襯底。背景技術(shù)半導(dǎo)體襯底被包含在每個(gè)電子元件中并被廣泛使用。特別地,寬帶隙半導(dǎo)體襯底是期望作為有助于節(jié)能的高效器件和功率器件的半導(dǎo)體襯底的材料。其中,金剛石襯底不僅廣泛用作半導(dǎo)體襯底,而且廣泛用于各種工具(諸如鉆頭、立銑刀、銑刀、切割器的切割工具和切割工具、骰子、水或其它流體噴射嘴以及諸如stichel的耐磨工具)、光學(xué)部件(窗口和透鏡)和電子部件(散熱襯底)的材料并且其重要性將在未來進(jìn)一步增加。...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。