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一種基于偏心圓漸開線的全光滑螺桿轉(zhuǎn)子的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11471785

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本發(fā)明涉及雙螺桿真空泵,特別涉及適用于雙螺桿真空泵的一種基于偏心圓漸開線的全光滑螺桿轉(zhuǎn)子。背景技術(shù)雙螺桿真空泵是一種回轉(zhuǎn)式流體機(jī)械,具有結(jié)構(gòu)簡單、運(yùn)行平穩(wěn)、清潔無油、適應(yīng)多種工況的優(yōu)點(diǎn),在半導(dǎo)體、化工、電子、核能、食品、醫(yī)藥領(lǐng)域應(yīng)用廣泛;雙螺桿真空泵的關(guān)鍵技術(shù)是平行裝配、相互嚙合的兩個(gè)螺桿轉(zhuǎn)子,工作時(shí)通過兩個(gè)螺桿轉(zhuǎn)子的同步異向雙回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),實(shí)現(xiàn)泵內(nèi)被抽氣體的吸氣、壓縮和排氣過程;螺桿轉(zhuǎn)子的結(jié)構(gòu),尤其是端面型線的結(jié)構(gòu),直接影響雙螺桿真空泵的抽氣量、級(jí)間密封和極限真空度。目前常用的單頭凹齒面雙螺桿真空...
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