技術(shù)編號：11480849
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。兩步光致抗蝕劑組合物以及方法參考在先領(lǐng)域申請本申請是根據(jù)35U.S.C.§120于2014年2月24日提交的美國專利申請?zhí)?4/187,649的分案，并要求其的權(quán)益。發(fā)明領(lǐng)域本發(fā)明涉及新穎的亞甲基富勒烯衍生物，由其制備的負(fù)型光致抗蝕劑組合物以及使用它們的方法。本發(fā)明進(jìn)一步涉及允許在對比度、分辨率和/或線邊緣粗糙度方面的改進(jìn)的兩步抗蝕劑工藝。本發(fā)明還涉及包括富勒烯和/或化學(xué)增幅材料的雙重抗蝕劑工藝。這些衍生物、它們的光致抗蝕劑組合物和/或方法對于使用例如紫外線輻射、極端紫外線輻射、超越極端紫外線輻...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。