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半導(dǎo)體功率器件的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11500935

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本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體功率器件,尤其適用于GaN、GaAs、LDMOS等放大器。背景技術(shù)在GaN、GaAs、LDMOS等放大器器件中,要求在滿足源漏擊穿電壓BVdss的前提下,盡可能低降低器件的源漏導(dǎo)通電阻Rds以及柵漏電容Cgd,但是往往會(huì)增加其它的極間電容Cgs和Cds。例如,在射頻LDMOS功率器件中,常采用場(chǎng)板技術(shù)來緩和上述矛盾,如圖1所示,與柵19相鄰的場(chǎng)板21設(shè)置有一肩部,該肩部在漏漂移區(qū)11上向柵19方向延伸,但是延伸的越多(即與柵重疊的越多),雖然可以減少Cgd,但是增加的寄生...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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