技術(shù)編號：11507362
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種化學(xué)機械拋光設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地，涉及一種不積水的拋光頭。背景技術(shù)相關(guān)技術(shù)中的拋光設(shè)備的蓋體與夾片組件外側(cè)之間密封，蓋體與基體之間具有間隙，拋光液會從蓋體與基體之間的間隙進入拋光設(shè)備的內(nèi)部，在拋光過程中，沉積在拋光設(shè)備內(nèi)拋光液會向外溢出，進而影響拋光設(shè)備的基片的拋光效果。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。為此，本發(fā)明提出一種不積水的拋光頭，所述拋光頭可避免拋光液進入拋光頭內(nèi)部進而影響拋光效果。根據(jù)本發(fā)明實施例的不積水的拋光頭包括：夾片組件；蓋體，所述蓋體可移...
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