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一種基于磁場(chǎng)方向改變的隧道磁阻式加速度計(jì)裝置及方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11513618

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本發(fā)明屬于加速度測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域,涉及微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)和微慣性器件,更為具體地說(shuō),是涉及一種基于磁場(chǎng)方向改變的隧道磁阻式加速度計(jì)裝置及其測(cè)量方法。背景技術(shù)量子隧穿效應(yīng)是一種量子特性,是電子等微觀粒子能夠穿過(guò)他們本來(lái)無(wú)法通過(guò)的“墻壁”的現(xiàn)象。隧道磁阻效應(yīng)是指在鐵磁性薄膜和中間絕緣層構(gòu)成的“隧道結(jié)”中,電子隧穿過(guò)絕緣層的可能性與鐵磁層的相對(duì)磁化方向呈現(xiàn)相關(guān)性,其宏觀表現(xiàn)為電阻的大小,電阻對(duì)磁場(chǎng)方向的變化具有極高的電阻靈敏度。隧道磁阻式加速度主要是利用輸入加速度信號(hào)導(dǎo)致“隧道結(jié)”中兩層鐵磁性薄膜磁場(chǎng)...
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