技術(shù)編號：11522033
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。半導(dǎo)體裝置本申請是2013年11月15日提交的、申請?zhí)枮?01310572119.1、發(fā)明名稱為“半導(dǎo)體裝置”的申請的分案申請。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體裝置及其制造方法。此外，在本說明書中半導(dǎo)體裝置是指能夠通過利用半導(dǎo)體特性而發(fā)揮功能的所有裝置，電光裝置、半導(dǎo)體電路以及電子設(shè)備等都是半導(dǎo)體裝置。背景技術(shù)使用形成在具有絕緣表面的基板上的半導(dǎo)體膜構(gòu)成晶體管的技術(shù)受到關(guān)注。該晶體管被廣泛地應(yīng)用于如集成電路或顯示裝置等的半導(dǎo)體裝置。作為可應(yīng)用于晶體管的半導(dǎo)體膜，已知硅膜。關(guān)于用于晶體管的半導(dǎo)體膜的硅...
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