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包括機(jī)械預(yù)加載懸架彈簧的MEMS傳感器結(jié)構(gòu)的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11527793

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本發(fā)明涉及包括一個(gè)或多個(gè)機(jī)械預(yù)加載懸架彈簧的MEMS結(jié)構(gòu),特別地但非排他地,涉及包括一個(gè)或多個(gè)機(jī)械預(yù)加載懸架彈簧的慣性MEMS傳感器和用于機(jī)械預(yù)加載MEMS傳感器中的一個(gè)或多個(gè)懸架彈簧的方法。背景技術(shù)地震傳感器網(wǎng)絡(luò)用于地震成像,以提供允許詳細(xì)檢查地球的結(jié)構(gòu)和油氣儲(chǔ)藏的定位的三維圖像。對(duì)于確定鉆井的優(yōu)化位置和增加儲(chǔ)藏中的油或氣的提取而言,準(zhǔn)確成像是關(guān)鍵的。在地震行業(yè)中,由于地震檢波器(無源慣性速率傳感器)良好的靈敏度(典型地,在5Hz和30Hz之間,優(yōu)于)、低成本和耐久性,其成為最廣泛使用的傳感器...
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