技術(shù)編號：11542483
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及單晶及半導(dǎo)體加工領(lǐng)域，特別涉及一種單晶預(yù)裝料夾具。背景技術(shù)單晶爐在停爐后，由于爐體剛打開后溫度較高，爐體溫度在400攝氏度左右，人員無法進(jìn)行裝料工作；傳統(tǒng)做法是用風(fēng)機(jī)吹爐內(nèi)熱場，等爐內(nèi)冷卻2小時(shí)，即溫度降至50攝氏度左右，再進(jìn)行裝料工作；這樣的操作方法，增加了爐臺閑置時(shí)間，同時(shí)增大了對硅料的污染，影響產(chǎn)品質(zhì)量。發(fā)明內(nèi)容針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種單晶預(yù)裝料夾具，加緊坩堝后由吊車調(diào)至爐內(nèi)，不受高溫影響，減少爐臺閑置時(shí)間，且不會因?yàn)槿藛T關(guān)系對硅料污染。本實(shí)...
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