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一種極紫外高級抑制衍射光柵的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:11544051

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一種極紫外高級抑制衍射光柵本申請要求于2017年3月15日提交中國專利局、申請?zhí)枮?01710154237.9、發(fā)明名稱為“一種極紫外高級抑制衍射光柵”的國內(nèi)申請的優(yōu)先權(quán),其全部內(nèi)容通過引用結(jié)合在本申請中。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及極紫外光學技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種極紫外高級抑制衍射光柵。背景技術(shù)目前用于光譜儀的衍射光柵一般為傳統(tǒng)的一系列的平行溝槽和線條組成的金屬薄膜黑白光柵,用于測量X射線光譜。根據(jù)光柵方程d(sinα+sinβ)=nλ定義可知,衍射譜與波長不是一一對應(yīng)的關(guān)系,均存在多級衍射的問題。然而...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。

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