技術(shù)編號(hào)：11551848
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種清理裝置，特別涉及一種多晶硅錠邊料表面清理裝置。背景技術(shù)在多晶硅鑄錠工藝過程中，多晶硅鑄錠表面會(huì)粘有氮化硅等雜質(zhì)，由于鑄錠生產(chǎn)中的分凝與擴(kuò)散作用，部分雜質(zhì)甚至?xí)B透到多晶硅鑄錠表面的表層，在對(duì)多晶硅鑄錠開方后，會(huì)形成大量的多晶硅錠邊料，多晶硅錠邊料一般均要回用。為了提高回用率，一般都要對(duì)多晶硅錠邊料的表面進(jìn)行清理，將其表面及表層所含雜質(zhì)去除?，F(xiàn)有的清理裝置使用多個(gè)抽風(fēng)口來抽離殘?jiān)馁M(fèi)能量大，收集殘?jiān)踩菀仔纬啥氯锌针p傳送帶在清理表面的過程中，多晶硅錠邊料的底部受力面積小，...
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