技術(shù)編號：11561952
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型公開了一種薄膜熱電模塊，屬于功能薄膜材料及器件領(lǐng)域。背景技術(shù)氧化物基熱電材料相比傳統(tǒng)合金熱電材料，具有高溫性能穩(wěn)定、抗氧化性和無毒性等優(yōu)點，受到廣泛關(guān)注，氧化物薄膜熱電模塊也成為新興研究焦點。目前薄膜熱電模塊的構(gòu)型主要為π型，即P、N型氧化物薄膜在同一基底上平行、交替排列，并由電極串聯(lián)聯(lián)結(jié)。根據(jù)其熱流和材料的使用方向，薄膜熱電模塊又可分為熱流方向垂直于薄膜表面(cross-plane)和熱流方向平行于薄膜表面(in-plnae)兩種。cross-plane熱電模塊的制備工藝相對簡單，集...
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