技術編號：11568208
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明一般地涉及換能器，并且在特定實施例中涉及一種用于差動梳形驅動MEMS的系統和方法。背景技術換能器將信號從一個域轉換到另一個域，并且經常被用在傳感器中。一種日常生活中見到的用作傳感器的常見換能器是麥克風，所述麥克風將聲波轉換(即，轉化)成電信號。常見傳感器的另一示例是溫度計。存在通過將溫度信號轉化成電信號來用作溫度計的各種換能器?；谖C電系統(MEMS)的換能器包括使用微機械加工技術生產的傳感器和致動器的家族。通過在換能器中測量物理狀態(tài)的變化并且將轉化的信號傳送給連接到MEMS傳感器的處理...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。