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技術(shù)編號(hào)：11568870

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本發(fā)明涉及一種六氟丁二烯的純化方法。背景技術(shù)六氟丁二烯分子式CF2＝CF-CF＝CF2，沸點(diǎn)6℃，密度1.4g/ml(15℃)，GWP值290，是一種環(huán)境友好型化合物。高純六氟丁二烯是一種性能優(yōu)良的干蝕氣體，當(dāng)對(duì)小于100nm甚至更窄的寬度進(jìn)行干蝕時(shí)具有高精確性和選擇性，能夠替代全氟飽和氟碳用于超大規(guī)模集成線路蝕刻。關(guān)于六氟-1,3-丁二烯的制備方法，早期主要通過(guò)二聚、氟化等工藝合成1,2,3,4-四氯-1,1,2,3,4,4-六氟丁烷，然后在醇溶劑存在下，鋅粉脫氯得到六氟1,3-丁二烯。后期對(duì)...
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