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技術(shù)編號：11570990

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本發(fā)明涉及單結(jié)晶制造裝置及制造方法，特別涉及在由切克勞斯基法（以下稱作CZ法）進行的單結(jié)晶的提拉工序中使用的單晶提拉機構(gòu)的故障診斷功能。背景技術(shù)作為半導(dǎo)體設(shè)備的基板材料的硅單結(jié)晶的多數(shù)都借助CZ法制造。在CZ法中，將種晶浸漬到收容于石英坩堝內(nèi)的硅熔液中，在使種晶及坩堝旋轉(zhuǎn)的同時使種晶逐漸上升，由此使較大直徑的單結(jié)晶在種晶的下端生長。在硅單結(jié)晶的提拉中采用例如使用絲線的結(jié)晶提拉機構(gòu)。種晶經(jīng)由種夾盤安裝在絲線的下端，將絲線的上端側(cè)用卷取鼓筒卷取，由此將種晶向上方提拉。驅(qū)動卷取鼓筒的馬達的旋轉(zhuǎn)力經(jīng)由減...
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