技術(shù)編號：11586686
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于集成電路工藝領(lǐng)域，具體涉及一種集成螺線管型雙層磁膜電感及其制備方法，用于提升感值密度和品質(zhì)因素。背景技術(shù)電感是三大無源器件(電感、電阻、電容)之一，在RFIC電路中具有重要地位，但是它的集成度已經(jīng)成為了制約RFIC集成的瓶頸。目前，國際上有許多著名公司和科研機構(gòu)如英特爾、IBM、愛爾蘭Tyndall國家實驗室、美國Ferric公司、斯坦福大學(xué)等均將磁芯膜引入電感中以提升感值密度，磁芯的高頻性能直接決定了電感的性能。從目前的研究情況來看，集成螺線管型微電感均采用了單層磁芯膜工藝，如文獻《...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。