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質(zhì)譜儀對二十兆帕高壓內(nèi)范圍實時線性采樣裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:11587802

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本發(fā)明涉及一件用于從化工業(yè)極端高壓(10-20MPa)并具有復雜氣氛組成的環(huán)境下向質(zhì)譜儀工作區(qū)采樣的裝置,也可以用于提供其他超高真空設備從高壓區(qū)域的氣體采樣。背景技術(shù)質(zhì)譜儀工作原理雖然各有不同,但都要求在背景氣壓為10-8torr或更低的真空環(huán)境下保護,工作時氣壓一般不超過10-5torr,這是由質(zhì)譜采集設備本身的儀器工作原理和分析精度要求決定的。而作為質(zhì)譜分析的采樣環(huán)境,除了少數(shù)基礎科研的原位分析環(huán)境可以直接符合質(zhì)譜儀本身的工作環(huán)境要求以外,多數(shù)為實用環(huán)境分析要求,如應用較多的工業(yè)殘氣分析,都...
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