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輥到輥兩面曝光裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11589176

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本發(fā)明涉及用于撓性印刷基板等的制造的輥到輥兩面曝光裝置。背景技術(shù)將規(guī)定圖案的光向?qū)ο笪镎丈涠M(jìn)行曝光的曝光裝置,作為光刻的核心的要素技術(shù)在各種用途中使用。其中,關(guān)于對(duì)撓性印刷基板那樣的柔軟的基板(以下,稱(chēng)為片狀基板)進(jìn)行曝光的曝光裝置,已知有通過(guò)輥到輥在對(duì)片狀基板進(jìn)行搬運(yùn)的同時(shí)進(jìn)行曝光的裝置。在這種裝置中,存在對(duì)片狀基板的兩面同時(shí)進(jìn)行曝光的類(lèi)型的裝置,其一個(gè)例子為對(duì)兩面進(jìn)行電路形成的撓性印刷基板用的曝光裝置。進(jìn)行兩面曝光的輥到輥的曝光裝置構(gòu)成為,對(duì)于某個(gè)設(shè)定的區(qū)域從兩側(cè)照射規(guī)定圖案的光。然后,將...
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