技術(shù)編號(hào)：11592640
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種供料裝置、離子源裝置及供料方法，特別是涉及一種需要倒置使用的供料裝置、離子源裝置及供料方法。背景技術(shù)離子注入機(jī)的離子源用于產(chǎn)生等離子體并引出束流，而在使用固體原料(例如紅磷)的離子源中，需要將固體原料氣化后通入真空腔以離子化氣體，有時(shí)固體原料是塊狀的，具有較大的體積，在這種情況下，用于氣化固體原料的蒸發(fā)瓶通常設(shè)置有兩個(gè)開口，一個(gè)較大的開口作為填料口，通過該填料口將固體原料裝入蒸發(fā)瓶中；另一個(gè)開口通常具有較小的孔徑，用于將氣體通入真空腔中。然而，在真空度要求比較高的場(chǎng)合下這種結(jié)構(gòu)的蒸...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。