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基板處理設(shè)備的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11621836

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這里公開(kāi)的本發(fā)明涉及一種用于處理基板的設(shè)備。背景技術(shù)在半導(dǎo)體器件和平板顯示面板的制造過(guò)程中執(zhí)行各種工藝,諸如圖像工藝、蝕刻工藝、灰化工藝、膜沉積工藝和清潔工藝。在膜沉積工藝中,執(zhí)行在旋轉(zhuǎn)的基板上沉積化學(xué)品的旋涂硬掩模(Spin-on-Hardmask,SOH)工藝。圖1是執(zhí)行傳統(tǒng)SOH工藝的基板處理設(shè)備的示例。在傳送室300內(nèi)設(shè)有一個(gè)傳送機(jī)器人350。該傳送機(jī)器人350沿著室400的布置方向X2移動(dòng)以將基板傳送到每個(gè)室400。因此,工藝時(shí)間由于傳送機(jī)器人350的廣范圍移動(dòng)而變長(zhǎng)。此外,由于傳送機(jī)...
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