技術(shù)編號：11621845
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。搬送裝置、搬送方法、曝光裝置、以及元件制造方法本申請是申請日為2011年2月17日，申請?zhí)枮?01180009815.0，發(fā)明名稱為“搬送裝置、搬送方法、曝光裝置、以及元件制造方法”的專利申請的分案申請。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明是關(guān)于搬送裝置、搬送方法、曝光裝置、以及元件制造方法。本申請案，是根據(jù)2010年2月17日提申的美國暫時申請第61/305，355號、及61/305，439號主張優(yōu)先權(quán)，并將其內(nèi)容援用于此。背景技術(shù)在平面面板顯示器等電子元件的工藝中，是使用曝光裝置或檢查裝置等大型基板的處理裝置。在...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。