技術(shù)編號：11624878
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及自動化領(lǐng)域，特別涉及一種材料表面處理裝置和方法。背景技術(shù)隨著產(chǎn)品對材料性能要求的逐步提高，材料表面改性技術(shù)顯得越來越重要，低溫等離子體表面處理技術(shù)作為一種“干法”表面改性技術(shù)，具有處理效率高和節(jié)能、環(huán)保的特點，其應用越來越廣泛。等離子體表面處理設(shè)備中，用于激發(fā)反應氣體產(chǎn)生等離子的電極結(jié)構(gòu)形式對等離子體能量、濃度以及空間分布有很大的影響。目前，市場上的低溫等離子體設(shè)備均采用的單面平板式平行電極組形式，即將平板金屬電極的平行和正、負間隔排列，待處理產(chǎn)品置于正負電極之間，見附圖1。這種結(jié)構(gòu)的...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。
該類技術(shù)注重原理思路，無完整電路圖，適合研究學習。