技術編號：11627190
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種感測膜片，尤其涉及一種適用于發(fā)聲的振膜；本發(fā)明還涉及一種MEMS麥克風。背景技術MEMS感測組件現(xiàn)已應用普及在消費性電子產品中，如何加快產品生產工藝是目前零組件供貨商關注的焦點，例如手機生產組裝過程中所產生的灰塵碎削通過氣槍直接清理，是目前成本最低的方案。因此對MEMS傳感器必須提出大聲壓或大氣壓的抗吹氣改善方案，避免在組裝過程，因氣槍清理導致麥克風發(fā)生破裂失效。例如在麥克風領域，目前的改善方案為在MEMS麥克風的振膜上設置泄壓孔或者泄壓閥結構。但是泄壓孔的結構會減少振膜的有效面積...
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